សម្អាតបន្ទប់ឡ

មុខងារស្អាតជ្រុល៖ បំពាក់ដោយតម្រង H14 HEPA (អត្រាផ្លាស់ប្តូរខ្យល់≥20ដង/ម៉ោង) និងដែកអ៊ីណុក (316L) ខាងក្នុងបន្ទប់ជាមួយនឹងជ្រុងមូលរលោង កាត់បន្ថយការប្រមូលផ្តុំភាគល្អិត និងធានាបាននូវថ្នាក់ស្អាត 10-1000 (អាចប្ដូរតាមបំណងដល់ថ្នាក់ទី 1)។ ចំនួនភាគល្អិត <0.5μm ភាគល្អិត≤10pcs/ft³ កំឡុងពេលប្រតិបត្តិការ។

ការត្រួតពិនិត្យកម្ដៅច្បាស់លាស់៖ ទទួលយកប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងមីក្រូដំណើរការ PID ជាមួយនឹងជួរសីតុណ្ហភាព RT + 10 ℃ ~ 300 ℃ (ស្រេចចិត្តរហូតដល់ 500 ℃) និងឯកសណ្ឋានសីតុណ្ហភាព ± 1 ℃។ គាំទ្រខ្សែកោងសីតុណ្ហភាពដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន (រហូតដល់ 10 ផ្នែក) សម្រាប់ដំណើរការកំដៅដ៏ស្មុគស្មាញ។

ការរចនាការពារការចម្លងរោគ៖ សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ដែលបញ្ចេញឧស្ម័នទាប ការផ្សាភ្ជាប់ដោយគ្មានស៊ីលីកុន និងកញ្ចក់ទ្វារដែលមានកំដៅ (ការពារការកកិត) ជៀសវាងការចម្លងរោគបន្ទាប់បន្សំ។ លំហូរខ្យល់ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងដើម្បីធានាឱ្យមានសីតុណ្ហភាពឯកសណ្ឋានដោយគ្មានការរំខានពីភាគល្អិតដែលបណ្តាលមកពីភាពច្របូកច្របល់។

សុវត្ថិភាព និងអនុលោមភាព៖ បំពាក់ដោយសំឡេងរោទិ៍លើសពីសីតុណ្ហភាព (គម្លាត± 5 ℃) ការការពារលើសសម្ពាធ និងប្រព័ន្ធចាក់សោទ្វារ។ បន្ទប់ខាងក្នុងមានភាពងាយស្រួលក្នុងការក្រៀវ (ត្រូវគ្នាជាមួយការក្រៀវដោយកាំរស្មីយូវី) ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការ GMP ឱសថ។

ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធដែលអាចបត់បែនបាន៖ មាននៅក្នុងម៉ូដែលកៅអីអង្គុយ (50L-200L) និង Walk-in (1000L-10000L)។ លក្ខណៈពិសេសស្រេចចិត្តរួមមានប្រព័ន្ធបន្សុទ្ធអាសូត (សម្រាប់សម្ភារៈដែលងាយនឹងអុកស៊ីតកម្ម) និងចំណុចប្រទាក់ទិន្នន័យ RS485 (សម្រាប់ការតាមដានជាបាច់)។

ឧស្សាហកម្ម Semiconductor: ការសម្ងួត photoresist នៅលើ wafers ការព្យាបាលសម្ភារៈវេចខ្ចប់ semiconductor និងការ annealing សមាសធាតុអេឡិចត្រូនិភាពជាក់លាក់ - មានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការកែលម្អទិន្នផលបន្ទះឈីបដោយជៀសវាងពិការភាពដែលបណ្តាលមកពីភាគល្អិត។

ឱសថ និងវេជ្ជសាស្រ្ដ៖ ការសម្ងួតម្សៅឱសថ ការក្រៀវសមាសធាតុឧបករណ៍វេជ្ជសាស្រ្ដ និងការព្យាបាលសមា្ភារៈ bio-optoelectronic អនុលោមតាមស្តង់ដារផលិតកម្មដែលគ្មានមេរោគ។

អេឡិចត្រូនិចភាពជាក់លាក់៖ ដំណើរការសមាសធាតុបន្ទះ LCD ការសម្ងួតអេឡិចត្រូលីត capacitor និងសារធាតុស្អិតនៅលើបន្ទះសៀគ្វី - ការពារការបរាជ័យនៃដំណើរការដែលបណ្តាលមកពីសំណើម។

លំហអាកាស៖ ផ្នែកដែកដែលមានភាពជាក់លាក់ក្នុងការព្យាបាលកំដៅ និងការព្យាបាលសមាសធាតុផ្សំនៅក្នុងបរិស្ថានស្អាត ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាពរចនាសម្ព័ន្ធ និងគុណភាពផ្ទៃ។